1400度單溫區管式爐采用一體式結構,爐膛采用氧化鋁纖維材料制成,等直徑硅碳棒加熱,耐高溫剛玉爐管,兩端配置不銹鋼真空法蘭;法蘭采用KF快接法蘭,進出料更方便;智能程控控溫儀表控溫精度高;雙層機殼設計,中空風冷系統確保外殼溫度不高.
更新時間:2022-07-13
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單溫區滑桿式PECVD系統由滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。單溫區滑竿式PECVD系統相對于CVD系統增加了等離子發生器
更新時間:2022-12-05
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CVD是化學氣相沉積的英文簡寫,本公司生產的單溫區CVD管式爐系統是利用管式爐加熱,把構成固態沉積物的氣態反應劑或液態反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入爐管內,在爐管內使氣態或蒸汽狀態的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態沉積物的技術。
更新時間:2022-12-05
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